1.磁柵尺
組成：磁性標尺、磁頭和檢測電路.
維護注意點: 不能將磁性膜刮壞、不能用力和撞擊磁性標尺和磁頭避免磁性減弱或磁場紊亂、接線時分清磁頭上激磁繞組和輸出繞組.
2.光電脈沖編碼器
維護要點：防振和防污（內部松動和信號丟失）；
聯結松動（影響位置精度、進給運動的不穩定、伺服電機換向引起振動）。
3.旋轉變壓器
(1).輸出電壓與轉子的角位移有固定的函數關系,用做角度測量元件.
(2).維護注意點
定子和轉子阻值不同不要接錯、碳刷磨損要及時更換
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4.感應同步器
(1).電磁感應式的高精度位移檢測元件
組成：定尺和滑尺上有矩形繞組
(2).維護要點:
安裝時保持定尺和滑尺的相對平行；
不要損壞耐切削液涂層和帶絕緣層 的鋁箔；
滑尺接線要分清SIN和COS繞組。
